はじめての半導体プロセス みんなこんな本を読んできた はじめての半導体プロセス
 
 
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はじめての半導体プロセス ( 前田 和夫 )

半導体プロセス技術の入門書に最適です。2000年位までの半導体プロセス最新技術が広範囲に解説されていて、一通りの知識(専門用語の意味など)を身に着けたいという人にはオススメ。

前半の1-4章では概要がまとめられ それ以降の章で各プロセスごとの詳しい 説明がなされています。 要求される基礎知識は高くなく、用語なども 解説されているので読みやすい本です。ただ、 基本的な半導体の知識は必要とされますので化学系の 人が読む場合、所々で不明な点がでるかもしれません。 他の本とくらべて図が詳しく、またわかりやすいのが印象的です。プロセス全体の概要がわかるようになっていますので、ここのプロセスについて詳しく知るためにはこの本では不足ですが、入門書としてはとっつきやすい本でお勧めです。

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はじめての半導体プロセス
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